光伏pecvd膜厚度（pecvd膜厚不均匀）
本文目录一览：
- 1、用PECVD和LPCVD能生长的氮化硅膜厚范围？
- 2、光伏的减反射膜(AR coating)有什么用?
- 3、太阳能电池中胶膜的最佳折射率
- 4、光伏中PECVD什么意思
- 5、光伏电池片镀膜原理和目的
- 6、pecvd氮化硅膜为什么是蓝色的
用PECVD和LPCVD能生长的氮化硅膜厚范围？
在氮化硅生长方面，LPCVD与PECVD有何区别，如在薄膜质量方面来讲。为何在湿法刻蚀中，用作保护层的氮化硅都用LPCVD生长，而不用PECVD，用PECVD生长的氮化铝能不能被用来做保护层？
光伏的减反射膜(AR coating)有什么用?
减反射膜的作用是增加更多的光吸收，可以增大光电流。
同时，减反射膜对硅片还有保护和钝化作用，可以增加电生电压，对提高光伏电池的电性能有很大帮助。
现在的光伏电池均有减反射膜 ，不论是一线厂家或者二线厂家，普遍采用的是PECVD法沉积氮化硅膜。膜厚在78nm左右，折射率在2.06左右。
太阳能电池中胶膜的最佳折射率
折射率为2.30，表面钝化最好，体钝化较差；折射率为2.17表面钝化较好，体钝化最好折射率小于2.05，钝化较差，减反效果好。
以硅为底材料太阳能电池的折射率主要涉及到两个方面，一个是太阳能电池片上镀蓝色膜的膜厚和折射率，另一个是封装组件时候使用的玻璃材质的膜厚和折射率，包括使用的eva等。如果是晶硅太阳能工序pecvd产生蓝膜的参数，理论上来说折射率的升高会提高效率，特别是多层膜，折射率逐渐升高的镀膜方式，但是实际运用中还存在一些其他因素，折射率过高容易产生镀膜颜色不正的情况，就是蓝色显得雾蒙蒙的状态，这样外观的电池片是很难有销路的。关于背镀的问题，主要是现在的铝浆很难烧穿氮化硅，会造成电池片背场的脱落，影响电池片的可靠性，所以要避免。
拓展资料
光伏胶膜夹在光伏电池片上下，一块电池片就要配上两块光伏胶膜。胶膜有三种，EVA、POE和EPE（EVA+POE混合）；他们最大的区别是前者比后者便宜，性能前者比后者差，很好诠释了一分钱一分货的道理。当前市场主流以EVA胶膜为主。光伏胶膜对太阳能电池组件起到封装和保护的作用，能提高组件的光电转换效率，并延长组件的使用寿命。由于光伏组件的封装过程具有不可逆性，加之电池组件的运营寿命要求在25年以上，一旦电池组件的胶膜开始黄变、龟裂，电池易失效报废，所以即使胶膜的绝对价值不高，却在光伏组件质量及寿命中起着重要作用。
光伏中PECVD什么意思
PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
光伏电池片镀膜原理和目的
PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。

据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。
由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷，导致硅中少子寿命及扩散长度降低，从而导致电池的转换效率下降，H能与硅中的缺陷或杂质进行反应，从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

一、PECVD原理
PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。
在真空、480摄氏度的环境温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面镀上一层SixNy。
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
二、Si3N4
Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，一般理想的厚度是75—80nm之间，表现为深蓝色，Si3N4膜的折射率在2.0—2.5之间效果最好，通常用酒精来测其折射率。
优良的表面钝化效果、高效的光学减反射性能（厚度折射率匹配）、低温工艺（有效降低成本）、生成的H离子对硅片表面钝化.
三、镀膜车间常见事项
膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积时间，如偏红则要适当的增加
pecvd氮化硅膜为什么是蓝色的
这个是膜厚决定的，从73至93钠米的膜厚，都是蓝色的。再厚就偏白，再浅就偏红。
